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讓晶圓製程不良率大降 統計模型有解

台灣新生報
半導體業是台灣高科技業的領頭羊,晶圓製程的良率更是產能的關鍵因素,中研院研究員銀慶剛率領的研究團隊以統計模型找出「狗」機台,讓台積電製程不良率大幅下降。

銀慶剛說,台積電把良率高的機台稱為「黃金」機台,良率低的機台則為「狗」機台,透過尋找資訊的相關性及排除虛假相關,就可篩選出有問題的「狗」機台,有效降低不良率。

中央研究院統計研究所研究員銀慶剛是國內率先研究高維度迴歸模型的統計學家之一,與中央研究院院士美國史丹福大學統計系教授黎子良「P大N小」的研究成果,二○一一年底登上國際統計期刊Statis-ticaSinica的主要文章:黎子良目前正利用這套模型協助英特爾公司。

銀慶剛解釋,晶圓製程要經過數千道關卡,需經大量機台加工,假設P為機台,N為晶圓數量,在「P大N小」情況下,研究團隊挑戰在於如何利用少數晶圓成品,在大量的機台中尋找出製程中關鍵的機台,等於是大海撈針,過程就像找出大明星的殺手一樣困難。

研究團隊之一的高雄大學統計學研究所副教授俞淑惠表示,利用台積電提供的數據,不用進到現場,就可讓台積電尚未量產的晶圓製程不良率下降百分之十一至百分之十四,甚至停止使用可能產生問題的機台,還可讓不良率下降至百分之三以內。

他舉例,如以四○○個晶片數及四○○○個機台計算,經過一○○○次實驗,可成功抓出「狗」機台的次數為九八○次,但參數訊息的強度也占有決定性因素。